PREPARACION Y CARACTERIZACION OPTO-ESTRUCTURAL DE CAPAS E INTERFICIES DE NITRURO Y OXINITRURO DE SILICIO AMORFOS.

Autor: CAMPMANY GUILLOT JOSEP
Año: 1993
Universidad: BARCELONA
Centro de realización: DEPARTAMENTO: LABORATORI DE FISICA DE CAPES FINES DEL DEPARTAMENT DE FISICA APLICADA I ELECTRONICA DE LA UNIVERSITAT DE BARCELONA
Centro de lectura: FISICA
Director:
Tribunal: MORENZA GIL JOSE LUIS , BARO VIDAL ARTURO , ROCA CABARROCAS PERE , GARRIGA BACARDI MIQUEL , CANILLAS BIOSCA ADOLF
Resumen de la tesis

EN LA TESIS SE DESCRIBE LA SINTESIS Y LA CARACTERIZACION DE CAPAS FINAS DE NITRURO Y OXINITRURO DE SILICIO AMORFO HIDROGENADO DEPOSITADAS POR DEPOSITO QUIMICO EN FASE VAPOR ACTIVADO POR PLASMA DE RADIOFRECUENCIA. LA CARACTERIZACION DE LAS CAPAS SE HA REALIZADO PRINCIPALMENTE MEDIANTE ELIPSOMETRIA DE MODULACION DE FASE EN MODO ESPECTROSCOPICO Y EN TIEMPO REAL. ADEMAS, SE HAN UTILIZADO OTRAS TECNICAS, COMO LA TRANSMITANCIA INFRAROJA, LA ESPECTROSCOPIA DE FOTOELECTRONES GENERADOS POR RAYOS X (XPS) Y LA MICROSCOPIA ELECTRONICA DE TRASMISION. SE HAN REALIZADO CUATRO SERIES EXPERIMENTALES. LA PRIMERA CONSISTE EN UN ESTUDIO COMPARATIVO DE LAS PROPIEDADES DEL NITRURO DE SILICIO AMORFO DEPOSITADO A PARTIR DE LA MEZCLA DE SILANO Y NITROGENO CON LAS DEL DEPOSITADO A PARTIR DE SILANO Y AMONIACO. LA PRINCIPAL DIFERENCIA HA RESULTADO SER LA CONCENTRACION DE HIDROGENO EN LAS CAPAS, UNAS DIEZ VECES MENOR EN EL PRIMER CASO QUE EN EL SEGUNDO. SUS PROPIEDADES OPTICAS Y DE CONDUCTIVIDAD, EN CAMBIO, NO DEPENDEN TAN RADICALMENTE DE LA MEZCLA GASEOSA PRECURSORA. LA SEGUNDA SERIE ESTUDIADA CORRESPONDE A LOS OXINITRUROS DE SILICIO AMORFO HIDROGENADO SINTETIZADOS A PARTIR DE SILANO Y OXIDO NITROSO. MEDIANTE ESTA MEZCLA, LAS CAPAS OBTENIDAS SON MUY OXIGENADAS, Y ADEMAS PRESENTAN UNA LIGERA INHOMOGENEIDAD EN PROFUNDIDAD QUE SE HA ATRIBUIDO A UN TRANSITORIO DE LARGO TIEMPO EN EL PROCESO DE DEPOSITO. EL TERCER EXPERIMENTO HA CONSISTIDO EN EL DEPOSITO DE OXINITRUROS DE SILICIO A PARTIR DE LA MEZCLA DE SILANO, AMONIACO Y OXIDO NITROSO. LOS OXINITRUROS OBTENIDOS SON TRANSPARENTES, Y ALCANZAN TODO EL ABANICO ENTRE EL DIOXIDO DE SILICIO Y EL NITRURO DE SILICIO. SE HA OBSERVADO UNA RELACION LINEAL ENTRE LA POROSIDAD DE LAS MUESTRAS Y EL CONTENIDO DE HIDROGENO DE LAS MISMAS. FINALMENTE, SE HAN ESTUDIADO LAS INTERFICIES ENTRE EL NITRURO DE SILICIO, EL DIOXIDO DE SILICIO Y EL OXINITRURO CON EL SILICIO AMORFO, OBSERVANDOSE UNA CAPA INTERFICIAL DE UNOS POCOS NM. MUY POROSA EN TODOS LOS CASOS.
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