INTEGRATED MICROSENSORS FOR MICROSYSTEMS WITH APPLICATIONS IN BIOMEDICINE AND ENVIRONMENTAL CONTROL.

Autor: GOTZ ANDREAS LUDWIG
Año: 1997
Universidad: AUTONOMA DE BARCELONA
Centro de realización: DEPARTAMENTO: INGENIERIA ELECTRONICA PROGRAMA DE DOCTORADO: INGENIERIA ELECTRONICA
Centro de lectura: CIENCIAS
Director: CANE BALLART CARLES
Tribunal: SERRA MESTRES FRANCESC , ALCUBILLA GONZALEZ RAMON , GUTIERREZ MONREAL JAVIER , SAMITIER MARTI JOSEP , ESTEVE TINTO JAUME
Resumen de la tesis

En la tesis presentada se han desarrollado tecnologías para la fabricación de sensores de presión e ISFET integrados monolíticamente con circuitería CMOS por un lado y para sensores de gas de tipo resistivo por otro. En el caso de los sensores de gas se ha encontrado un diseño óptimo para obtener un bajo consumo con la ayuda de estructuras de test y simulaciones numéricas. Se ha desarrollado un proceso de fabricación y se han fabricado dispositivos con una buena sensibilidad y un bajo consumo. Se han integrado monolíticamente sensores de presión en circuitería CMOS. Los problemas de compatibilización se han identificado y solucionado. Igualmente se han integrado sensores ISFET con circuitería CMOS. La experiencia adquirida se ha utilizado para el desarrollo y la fabricación de un chip CMOS con sensores de presión ISFET y de temperatura. Además, este chip se ha adapatado a las restricciones impuestas por un microsistema multichip para aplicaciones biomédicas.
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