ESTUDIO DE ALEACIONES SILICIO-CARBONO DEPOSITADAS MEDIANTE TECNICAS ASISTIDAS POR PLASMA DE RESONANCIA CICLOTRON DE ELECTRONES.

Autor: GOMEZ ARRIBAS FRANCISCO JAVIER
Año: 1996
Universidad: AUTONOMA DE MADRID
Centro de realización: DEPARTAMENTO: FISICA APLICADA PROGRAMA DE DOCTORADO: FISICA APLICADA
Centro de lectura: CIENCIAS
Director: PIQUERAS PIQUERAS JUAN
Tribunal: MARTINEZ DUART JOSE MANUEL , GONZALEZ DIAZ GERMAN , JIMENEZ JUAN , MARTIL DE LA PLAZA IGNACIO , ELIZALDE PEREZ-GRUESO EDUARDO
Resumen de la tesis

SE HAN DEPOSITADO CAPAS DE ALEACIONES SILICIO-CARBONO Y SILICIO-CARBONO-NITROGENO SOBRE SILICIO, POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, ASISTIDA POR PLASMA DE RESONANCIA CICLOTRON DE ELECTRONES (ECR-CVD), A BAJA TEMPERATURA DE SUSTRATO. SE HAN CONSEGUIDO UNA COMPLETA DESHIDROGENACION DE LAS CAPAS DE A-SIC:H EMPLEANDO TRATAMIENTOS TERMICOS RAPIDOS A ALTA TEMPERATURA EN VACIO. SE HAN OPTIMIZADO LAS CONDICIONES DE DEPOSICION CONSIGUIENDOSE UN CRECIMIENTO DE CAPAS DE SIC MICROCRISTALINO CON TEMPERATURAS DE SUSTRATO INFERIORES A 500 GRADOS C. SE HAN CONSEGUIDO CAPAS DE SICXNY UNIFORMEMENTE DEPOSITADAS Y QUE NO PRESENTAN PROBLEMAS ELASTICOS DE RELAJACION O COMPRESION. SE HA OBTENIDO UNA RELACION ENTRE LAS PROPIEDADES OPTICAS DE LAS CAPAS DEPOSITADAS CON LOS PARAMETROS DE DEPOSICION Y MAS CONCRETAMENTE SE HA ENCONSTRADO QUE SON CONTROLABLES CON LA VARIACION DE LA RAZON ENTRE LOS GASES PRECURSORES.
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