DESARROLLO DE MICROESTRUCTURAS DE VIDRIO/SILICIO PARA LA FABRICACIÓN DE SENSORES DE GASES CON CIRCUITERÍA CMOS ASOCIADA

Autor: LOPEZ BOSQUE M. JESUS
Año: 2003
Universidad: AUTONOMA DE BARCELONA
Centro de realización: ESCUELA DE DOCTORADO Y DE FORMACIÓN CONTINUADA
Centro de lectura: ESCUELA SUPERIOR DE INGENIERIA
Director: CANE BALLART CARLES
Tribunal: NAFRÍA MAQUEDA MONTSERRAT , DIÉGUEZ BARRIENTOS ÁNGEL , HORRILLO GÜEMES MARÍA DEL CARMEN , BOTA FERRAGUT SEBASTIÀ , FIGUERAS COSTA EDUARD
Resumen de la tesis

El objetivo de este trabajo es la fabricación de un sistema sensor capaz de trabajar a alta temperatura con bajo consumo. La incorporación de la circutería en el mismo chip permite reducir su tamaño y tener un encapsulado más compacto que en el caso híbrido. En muchas aplicaciones los sensores de gases están sometidos a numerosas vibraciones y aceleración, motivo por el cual es necesario desarrollar sistemas sensores robustos con un alto grado de selectividad. En este trabajo se va a fabricar un sistema sensor para el control de la calidad del aire cabinas de coches y aviones. La estructura de vidrio/silicio propuesta para la integración de una matrizde sensores de gases semiconductores con la circuitería CMOS asociada posee todos los requisitos citados anteriormente: alta robustez, bajo consumo, integración monolítica y un alto grado de selectividad gracias a la combinación de varios materiales sensibles en un mismo chip. Los principales puntos que se tratan en la tesis son: * Descripción de las estructuras de vidrio/silicio que servirán de soporte mecánico para la integración de un sistema para la detección de gases. * Diseño y simulación de los dispositivos. * Estudios tecnológicos llevados a cabo para la fabricación de la matriz de sensores de gases. * Estudios de compatibilidad de las tecnologías CMOS y de sensores de gases. * Fabricación de los dispositivos. * Caracterización de los dispositivos: resultados experimentales. * Conclusiones de esta memoria y las posibles líneas de investigación que se han abierto a partir de este trabajo.
Materias relacionadas